新施诺第五代天车助力半导体智能制造体系持续升级! 在晶圆厂内,AMHS自动物料搬送系统是半导体产业链中极其关键的环节。作为半导体智能制造体系的重要组成部分,AMHS对提升晶圆厂稼动率和产品良率至关重要,已成为半导体设备细分领域的热门赛道,国产化AMHS设备也引发了资... 花花2024-12-319 阅读0 评论