ASML，今年卖了多少光刻机？

文 | 半导体产业纵横，作者 |九林

1984年4月1日愚人节这一天，飞利浦和跟荷兰的一家小公司合资，成了一家新公司。新公司的缩写叫ALS，跟渐冻症的缩写是一样的。一直到1996年，这家公司改名叫ASML。

也就是现在，大名鼎鼎的ASML。

今年，ASML的High NA EUV光刻机成为设备新晋“顶流”。其数值孔径（NA）从之前标准 EUV 光刻机的 0.33 提升到了 0.55 ，镜头的分辨率从之前的13 nm提升到了 8 nm，能够实现2nm以下先进制程大规模量产。英特尔、台积电、三星哪怕豪侈巨资也要拿下。

ASML光刻巨头的生意风生水起，今年ASML又卖了多少台光刻机？

01 ASML有哪些光刻机？

想要知道ASML究竟卖了多少光刻机，首先要简单了解一下这个光刻巨头到底造了哪些类型的光刻设备。

ASML的成长史，可以说是光刻机迭代史。

PAS 2000、PAS 2500的起步阶段

我们回到最初的1984年，新生的ASML呱呱坠地。当时ASML的产品只有16台飞利浦当作库存的PAS 2000。但这款光刻机采用油压传动台，有着巨大的缺陷，没有客户看得上。

在发现了PAS 2000问题后，ASML决定开发新一代采用电动晶圆台的光刻机，型号PAS 2500。1986年推出非常棒的第二代产品PAS 2500，并第一次卖给美国当时的创业公司赛普拉斯（Cypress）。

1988年，飞利浦将MEGA生产线搬到了台积电，结果突发一场火灾。于是台积电想ASML采购了17台PAS 2500，成为了ASML的最大客户。正是因为这些订单，AMSL终于开始盈利了。

PAS 5500，一战成名

PAS 5500是ASML的成名之战，1991年发布，能够实现扫描式光刻。这时候IBM宣布将成为第一家在8英寸晶圆上制造芯片的公司。PAS 5500通过了IBM的产业验证，实现了小批量交付。

PAS 5500按照模块化设计，客户可以根据不同工艺随意选配不同部件包，包括：55/100/200B/250C/300B/400D/700B/750E/850C等等等，涵盖了各种光源（i线和KrF），各种尺寸（4-12英寸），各种镜头（i线和KrF镜头），各种投影模式（stepper/scanner）。

这就使得一台设备能够实现百花齐放。

PAS 5500的战绩不止于IBM，三星装机第一台PAS 5500后生产出了250nm工艺的16Mb存储器。SK 海力士在1996年装机后，1998年直接成为了AMSL的最大客户。

TWINSCAN 和浸没式技术

时间来到了1990年代末，光刻机的波长也从248nm进入到193nm，这就是著名的ArF准分子激光器。

产业在193nm波长上卡了近20年。干式193nm光刻机的极限工艺是65nm，再往下就很难实现了。产业内提出了各种超越193nm的方案，相对而言157nm技术难度稍低。这时候，AMSL收购了美国光刻机厂商AVG，储备了157nm和EUV光刻机。

直到2002年，在157nm技术研讨会上，台积电的林本坚提出了浸没光刻技术，找到了134nm波长，一石激起千层浪。

虽然浸入式光刻机的构思非常巧妙，但从工程角度看，它并不难完成。ASML很快就按照设计制造出了134纳米波长光源的浸入式光刻机，TWINSCAN AT:1150i 。

2006年ASML推出了第一台批量生产的浸入式机器 XT:1700i。2008年又推出了TWINSCAN NXT:1950i可用于32纳米芯片的量产，并迅速推动ASML开发出一系列用于亚32纳米制程节点的光刻系统，包括NXT:1960i、NXT:1965i、NXT:1970i等。

改变时代的EUV

为了巩固地位，AMSL在开发浸入式光刻机的同时，就已经向极紫外光源发起挑战。它摸索出了一种新的EUV产生方法：用激光轰击锡珠，让其化为等离子态，从而产生EUV。基于这个方法，ASML于2010年推出了第一台EUV样机。

不过，将样机变为可以销售的商品还需要很多投入，预期的投入可能达到每年10亿欧元，以ASML的财力并没有能力独自完成这一切。为了解决这个问题，它邀请了英特尔、三星和台积电入股共同研发。终于，在2013年，量产的EUV光刻机NEX:3300B面世了——也就在这一年，温宁克和范登布林克接过了公司的领导权。

之后，AMSL于2017年推出了TWINSCANNXE:3400B，将光刻机的制程（即最小的电路栅格间距离）从7纳米推到了5纳米。2020年初，AMSL发货了第100台EUV光刻机。

再到2023年，再次推出了High NA EUV光刻机TWINSCAN EXE:5000。从AMSL的路线图来看，在2025年还要推出将新一代High-NA EUV系统EXE:5200。

02 ASML卖了多少光刻机？

笔者翻阅ASML财报，整理了其自2012年开始的出货数据。ASML出货与其不断成长的光刻历程息息相关。

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